MKS-美國
詳情
美國MKS INSTRUMENTS成立于1961年，作為半導體零部件的供應(yīng)商，在氣體、真空儀器及制程控制應(yīng)用等方面有技術(shù)獨到之處，美國萬機儀器MKS INSTRUMENTS產(chǎn)品起源于壓力測量和控制核心技術(shù)，延伸到材料遞送、氣體成分分析、靜電荷控制、工藝控制、信息管理、電源和反應(yīng)氣體發(fā)生器及真空技術(shù)，其產(chǎn)品廣泛地應(yīng)用于各種半導體生產(chǎn)設(shè)備和制造過程中。
MKS流量計是以單位時間內(nèi)壓力體積的流量方式來控制氣體質(zhì)量流量的測量儀器。MKS薄膜真空計、MKS流量控制閥、MKS流量計廣泛應(yīng)用在半導體行業(yè)，鍍膜玻璃，醫(yī)藥制藥行業(yè)，生物工程行業(yè)，適合各種氣體媒介，常用的有氧氣，氫氣，氮氣，氯化氫氣體，氨氣，SICL4硅烷氣體等。
環(huán)境給傳感器造成的影響主要有以下幾個方面：
高溫環(huán)境對傳感器造成涂覆材料熔化、焊點開化、彈性體內(nèi)應(yīng)力發(fā)生結(jié)構(gòu)變化等問題。對于高溫環(huán)境下工作的傳感器常采用耐高溫傳感器；另外，必須加有隔熱、水冷或氣冷等裝置。
粉塵、潮濕對傳感器造成短路的影響。在此環(huán)境條件下應(yīng)選用密閉性很高的傳感器。不同的傳感器其密封的方式是不同的，其密閉性存在著很大差異。
常見的密封有密封膠充填或涂覆；橡膠墊機械緊固密封；焊接（氬弧焊、等離子束焊）和抽真空充氮密封。
從密封效果來看，焊接密封為最佳，充填涂覆密封膠為最差。對于室內(nèi)干凈、干燥環(huán)境下工作的傳感器，可選擇涂膠密封的傳感器，而對于一些在潮濕、粉塵性較高的環(huán)境下工作的傳感器，應(yīng)選擇膜片熱套密封或膜片焊接密封、抽真空充氮的傳感器。
在腐蝕性較高的環(huán)境下，如潮濕、酸性對傳感器造成彈性體受損或產(chǎn)生短路等影響，應(yīng)選擇外表面進行過噴塑或不銹鋼外罩，抗腐蝕性能好且密閉性好的傳感器。
電磁場對傳感器輸出紊亂信號的影響。在此情況下，應(yīng)對傳感器的屏蔽性進行嚴格檢查，看其是否具有良好的抗電磁能力。
易燃、易爆不僅對傳感器造成徹底性的損害，而且還給其它設(shè)備和人身安全造成很大的威脅。因此，在易燃、易爆環(huán)境下工作的傳感器對防爆性能提出了更高的要求：在易燃、易爆環(huán)境下必須選用防爆傳感器，這種傳感器的密封外罩不僅要考慮其密閉性，還要考慮到防爆強度，以及電纜線引出頭的防水、防潮、防爆性等。
美國MKS流量計、MKS薄膜真空計、MKS流量控制閥核心型號為：
MKS BARATRON 622A01TDE 1 Pa/133.32C70145 Lot 2
MKS Baratron Pressure Switch (41A & 51A)
MKS INSTRUMENTS PORTABLE BARATRON SYSTEM
MKS Instruments Baratron Pressure Transducer 220BHS-2A1
MKS Baratron Type 224/224HA Pressure Switch/Controll?er
MKS Baratron Absolute Pressure Transducer 627B Manual
MKS PAR-10 BARATRON
MKS BARATRON 627A-13614 .25 Pa/133.32
MKS Baratron Pressure XDCR, 1350-01153, 750B11TCD2GG
MKS BARATRON 223BD-00100AAB PRESSURE TRANSDUCER TYP 223
MKS Baratron Pressure Transducer 872B12PMD2MT1 100PSIA
MKS BARATRON HEAD UNIT MODEL# 698A12TRA 100 TORR
MKS Model 722A 21TCB3FJ Baratron, 20 TORR Range
MKS Baratron Manometer 100 Torr 622A12TAE new
MKS Baratron Capacitance Manometer 100 Torr 626A12TBETEL UNITY II
MKS BARATRON 627 PRESSURE TRNSDCER 10 TORRTEL UNITY II
MKS Baratron Pressure Switch 10 Torr-G 41A-15460 NEW
MKS Baratron Single-end Vacuum Switch, 51A11TGA2BA001
MKS BARATRON PRESSURE TRANSDUCER 722A13TCD2FA
MKS BARATRON PRESSURE GAUGE TRANSDUCER 1000 PSI 840B SS
MKS Baratron Manometer Transducer 1000 Torr 626A13TBE
MKS Baratron Single-end Pressure Switch, 51A13TCA1AA999
薄膜電容式高精度壓力傳感器（溫度控制在45℃）
690A系列
690A01TRC 690A01TRB 690A01TRA 690A11TRC 690A11TRB 690A11TRA 690A12TRC 690A12TRB 690A12TRA 690A13TRC 690A13TRB 690A13TRA 690A53TRC 690A53TRB 690A53TRA 690A14TRC 690A14TRB 690A14TRA 690ARBTRC 690ARBTRB 690ARBTRA 690A24TRC 690A24TRB 690A24TRA 690ARCTRC 690ARCTRB 690ARCTRA
590A系列
590A 01TRC 590A 01TRB 590A 01TRA 590A 11TRC 590A11TRB 590A11TRA 590A12TRC 590A12TRB 590A12TRA 590A13TRC 590A13TRB 590A13TRA 590A53TRC 590A53TRB 590A53TRA 590A14TRC 590A14TRB 590A14TRA 590ARBTRC 590ARBTRB 590ARBTRA 590A24TRC 590A24TRB 590A24TRA 590ARCTRC 590ARCTRB 590ARCTRA
698A系列
698A 01TRC 698A 01TRB 698A 01TRA 698A 01TRE 698A 01TRD 698A 11TRC 698A11TRB 698A11TRA 698A11TRE 698A11TRD 698A12TRC 698A12TRB 698A12TRA 698A12TRE 698A12TRD 698A13TRC 698A13TRB 698A13TRA 698A13TRE 698A13TRD
薄膜電容式高精度壓力傳感器（溫度控制在15-200℃）
615A系列
615A01TRC 615A01TRE 615A11TRC 615A11TRE 615A12TRC 615A12TRE 615A13TRC 615A13TRE 615A53TRC 615A53TRE 615A14TRC 615A14TRE 615ARBTRC 615ARBTRE 615A24TRC 615A24TRE 615ARCTRC 615ARCTRE
616A系列
616A01TRC 616A01TRE 616A11TRC 616A11TRE 616A12TRC 616A12TRE 616A13TRC 616A13TRE 616A53TRC 616A53TRE 616A14TRC 616A14TRE 616ARBTRC 616ARBTRE 616A24TRC 616A24TRE 616ARCTRC 616ARCTRE
薄膜電容式壓力傳感器（工作在室溫）
上海維特銳實業(yè)發(fā)展有限公司
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